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        產品中心

        MA300 圖形電鍍系列干膜光阻劑

          MA300 圖形電鍍系列干膜光阻劑

        MA300 圖形電鍍系列干膜光阻劑是一種具備自動檢測能力、xx率、全水溶性的干膜光阻劑,可使用于內層和外層的應用。本產品在酸性蝕刻、蓋孔與蝕刻和酸性電鍍制程中均有突出表現。

        特色及優點

        高分辨率 -1-2 mil 線寬/線距

        xx的貼合度-高良率

        高附著力-高良率

        xx的圖像顯示對比,具備自動光學檢測能力

        特有的感光速度-SS 7 at 30-40 mJ/cm2

        項目
        單位
        MA312
        MA315
        備注
        厚度
        μm
        30
        38

        感度*1
        mj/cm2
        25
        30

        最短顯影時間
        sec.
        20
        25

        附著力*1*2(L/S=X/250)
        μm
        25
        30

        解析度*1*2(L/S=X/X)
        μm
        25
        30

        蓋孔孔徑
        μm
        //
        6.5

        *1:MA315(SST=7/21):采用Stouffer21格曝光尺,推薦硬化格數的中心值的曝光能量,海圣平行光曝光機制作(UVE-HSP5K-11

        *2:1wt%Na2CO3,30℃,最短顯影時間x2

        *3:分辨率、解析度以及顯影后圖像。



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